2005年 研制出首臺整體轉(zhuǎn)子復(fù)合分子泵

2010年 研制出FFD可任意角度安裝復(fù)合分于泵

2012年 參與國家重大儀器專項(開發(fā)大抽速磁懸浮分子泵)

2013年 研制出國際首臺MDP抗大氣沖擊復(fù)合分子泵

2016年 研制出國內(nèi)首臺400口徑磁懸浮分子泵

2018年 推出國內(nèi)首臺400口徑任意角度安裝復(fù)合分子泵

2020-2021年 年首臺產(chǎn)業(yè)化demo磁懸浮分子泵應(yīng)用于半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)

2022-2023年 批量推出性能對標(biāo)國外磁懸浮分子泵的系列化產(chǎn)品